Professioneller Nadeloberflächenprofiler
Ein professioneller Stylus-Oberflächenprofiler ist ein hochpräzises Messinstrument, das für eine genaue Analyse von Oberflächenrauheit und Profilanalyse industrieller Bauteile entwickelt wurde. Der Professional Stylus Surface Profiler verwendet einen Diamant-Stift-Sensor, um Mikrooberflächenvariationen mit außergewöhnlicher Auflösung nachzuzeichnen und physische Oberflächentextur in präzise digitale Daten umzuwandeln. Der Professional Stylus Surface Profiler ist ideal für Anwendungen, die eine strenge Oberflächenqualitätsbewertung und wiederholbare Messgenauigkeit in modernen Fertigungsumgebungen erfordern.
- Messung: Probe-Profiling-Technologie
- Sondensensor: Träger mit niedriger Trägheit (LIS3)
- Sondendruck: Verwendung des LIS3-Sensors: 1 bis 15 mg
- Beispielansicht: Wählbare Vergrößerung, 1 bis 4 mm Sichtfeld
Produktbeschreibung
Der Professional Stylus Surface Profiler integriert fortschrittliche Messtechnologie mit einer stabilen und benutzerfreundlichen Plattform und liefert eine präzise Oberflächencharakterisierung für moderne Labore und Produktionsumgebungen. Sie bietet ausgezeichnete Genauigkeit, zuverlässige Wiederholbarkeit und effizienten Betrieb und eignet sich sowohl für Forschungs- als auch für industrielle Qualitätskontrollanwendungen.
Für hochauflösende Oberflächenanalysen konzipiert, unterstützt dieses System nanoskalige Rauheit, Stufenhöhe und 3D-Topographiemessung. Es wird weit verbreitet in Mikroelektronik, Halbleitern, Displayfertigung, Solarenergie, Medizintechnik und fortschrittlicher Materialforschung eingesetzt und hilft Nutzern, eine überlegene Prozesskontrolle von der Forschung und Entwicklung bis zur Endinspektion zu erreichen.
Professioneller Stylus-Oberflächenprofiler – Nanometer-Niveau Schritthöhen- und Oberflächenrauheitsmessung
Der Professional Stylus Surface Profiler ist ein hochpräzises Kontaktmesssystem, das für eine genaue Analyse von Stufenhöhe, Oberflächenrauheit und 3D-Oberflächentopographie entwickelt wurde. Mit einem Diamantnadel, der sanft die Probeoberfläche nachzeichnet, erfasst er feine Oberflächenvariationen mit außergewöhnlicher Auflösung und Stabilität. Dies gewährleistet hochzuverlässige und wiederholbare Messergebnisse für anspruchsvolle industrielle und laborbezogene Anwendungen.
Wie es funktioniert
Das System basiert auf einer kontaktähnlichen Messmethode. Während sich der Stift entlang der Oberfläche bewegt, spiegelt seine vertikale Verschiebung die Oberflächenkonturen wider. Diese Bewegung wird als elektrisches Signal durch eine Messbrücke erfasst, wodurch ein amplitudenmoduliertes Ausgangssignal proportional zur vertikalen Verschiebung erzeugt wird. Das Signal wird dann verstärkt, durch phasenempfindliche Gleichrichtung verarbeitet und gefiltert, um Rauschen und Wellenbildung zu entfernen. Dies stellt sicher, dass der Endausgang ein sauberes und stabiles Signal ist, das genaue Stufenhöhen- und Rauheitsmessungen frei von externen Störungen und Wellen liefert.
Wichtige Anwendungen
- Halbleiterwafer-Metrologie: Präzise Messung und Analyse von Halbleiterwafern, um eine hochwertige Fertigung sicherzustellen.
- MEMS und Mikrostrukturen: Genaue Profilierung von MEMS (Mikroelektromechanischen Systemen) und Mikrostrukturen für detaillierte Oberflächenmessungen.
- Dünnschicht und Beschichtungsdicke: Bewertung der Dicke und Gleichmäßigkeit von Dünnschichten und Beschichtungen, die für verschiedene Herstellungsprozesse entscheidend sind.
- Profilierung der Solarzellenoberfläche: Genaue Oberflächenmessungen für Solarzellen zur Optimierung von Leistung und Fertigungsqualität.
- Präzisionsoptik und medizinische Geräte: Messung von Präzisionsoptik und medizinischen Geräten, um hohe Qualitäts- und Leistungsstandards aufrechtzuerhalten.
Hauptmerkmale
- Stabile Leistung: Gewährleistet einen gleichmäßigen Betrieb mit schnellem Getriebe, automatischer Kalibrierung und genauer Messung.
- Revolutionäres Desktop-Design: Erreicht ein Gleichgewicht aus hoher Leistung, Benutzerfreundlichkeit und Kosteneffizienz in einer kompakten Arbeitsplatte.
- Kompaktes und zuverlässiges Design: Eine optimierte Hardwarekonfiguration gewährleistet eine hohe Testgenauigkeit, Stabilität und Effizienz.
- Hochwertige Materialien & Haltbarkeit: Gefertigt aus hochwertigen Materialien, um Haltbarkeit, lange Lebensdauer und effiziente Leistung zu gewährleisten.
Ausrüstungsmerkmale
- Unvergleichliche Leistung: Stufenhöhe reproduzierbar unter 4A, mit verbesserten Scan-Möglichkeiten.
- Einbogen-Design: Bietet bahnbrechende Stabilität, minimiert Umgebungsgeräuschstörungen und ermöglicht einen großen vertikalen Bereich mit geringer Kraft-Scanning.
- Verbesserte intelligente Elektronik: Reduziert Rauschen und erhöht die Messgenauigkeit, sodass Stufenhöhen unter 10 nm gemessen werden können.
- Optimierte Hardware-Konfiguration: Verkürzt die Datenerfassungszeit um 40 %, verbessert die Messeffizienz.
- 64-Bit-Vision64-Synchronsoftware: Beschleunigt die Datenverarbeitung und erhöht die Datenverarbeitungsgeschwindigkeit um das Zehnfache.
- Intuitive Benutzeroberfläche: Die Vision64-Software bietet eine vereinfachte, benutzerfreundliche Oberfläche für eine einfachere Einrichtung und Analyse.
- Automatisches Spitzenausrichtungssystem: Vereinfacht die Veränderung der Sonde durch selbstausgerichtete Sondenmontage und reduziert Risiken während der Übergangsphase.
- Große Auswahl an Sondenmodellen: Bietet verschiedene Sondengrößen und -formen an und gewährleistet so die Kompatibilität mit nahezu jeder Anwendung.
- Single-Sensor-Design: Liefert Messungen mit geringer Kraft und großem Scanbereich auf einer einzigen Ebene.
- Hochdurchsatztest: Gewährleistet schnelle, mehrprobenbasierte Tests für präzise Dünnschichtmessungen mit überlegener Wiederholbarkeit.
Technische Parameter
| Messtechnik | Probe-Profiling-Technologie |
| Messfunktion | 2D-Oberflächenprofilmessung |
| Optionale 3D-Messung/ | |
| Beispielansicht | Wählbare Vergrößerung, 1 bis 4 mm Sichtfeld |
| Sondensensor | Träger mit niedriger Trägheit (LIS3) |
| Sondendruck | Verwendung des LIS3-Sensors: 1 bis 15 mg |
| Low Force (optional) | Verwendung des N-Lite Low Force Sensors: 0,03 bis 15 mg |
| Sondenoptionen | Wählbarer Bereich des Probe-Krümmungsradius: 50 nm bis 25 μm; |
| Höhe-zu-Durchmesser-Verhältnis-(HAR)-Spitzen: 10μm*2μm und 200μm*20μm; | |
| Individuelle Tipps sind auf Anfrage erhältlich. | |
| Beispiel X/Y-Stufe | Manuelle X-Y-Übersetzung: 100 mm (4 Zoll) |
| Motorisierte X-Y-Übersetzung: 150 mm (6 Zoll) | |
| Beispiel-Drehstufe | Manuell, 360° Drehung; |
| Motorisiert: 360° Drehung; | |
| Computersystem | 64-Bit-Mehrkern-Linienprozessor, Windows* 7.0; Optionales 23-Zoll-Flachbilddisplay |
| Software | Vision64 Betriebs- und Analysesoftware; |
| Spannungsmesssoftware: Ausheberablenkung; | |
| Nahtsoftware: 3D-Scan-Bildgebungssoftware | |
| Schwingungsdämpfungsgerät | Stoßdämpfung verfügbar |
| Scanlängenbereich | 55 mm (2 Zoll) |
| Datenpunkte pro Scan | Bis zu 120.000 Datenpunkte |
| Maximale Probendicke | 50 mm (2 Zoll) |
| Maximale Wafergröße | 200 mm (8 Zoll) |
| Reproduzierbarkeit der Stufenhöhe | <4A1σ auf einem 1μm-Schritt |
| Vertikale Reichweite | 1 mm (0,039 Zoll) |
| Vertikale Auflösung | Maximal 1A (im vertikalen Bereich von 6,55 μm) |
| Eingangsspannung | 100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz |
| Temperaturbereich | Betriebsbereich 20 bis 25 °C (68 bis 77 °F) |
| Luftfeuchtigkeitsbereich | ≤80 %, nicht kondensierend |
| Systemgröße und Gewicht | 455 mm B x 550 mm B x 370 mm H |
| (179 Zoll. B x 22,6 Zoll. D x 14,5 Zoll. H); | |
| 34 kg (75 lbs); | |
| Befestigung: 550 mm L x 585 mm B x 445 mm H (216 Zoll. L x 23 Zoll. B x 175 Zoll. H); | |
| 217 kg (48 lbs) |
Anwendungsfälle
- Dünnschichtprüfung – Sicherstellung hoher Erträge:
In der Halbleiterfertigung hilft das Step-Instrument bei der Überwachung der Abscheidungs- und Ätzgleichmäßigkeit, der Dünnschichtspannung und der ITO-Dünnschichtdicke. Seine hohe Reproduzierbarkeit gewährleistet eine genaue Messung und optimiert das Ätzen und die Abscheidung für bessere Erträge. - Oberflächenrauheitsinspektion – Sicherstellung der Leistung:
Ideal zur Beurteilung der Oberflächenrauheit in Präzisionskomponenten in Branchen wie Automobil, Luft- und Raumfahrt und Medizintechnik. Zum Beispiel misst er die Rauheit orthopädischer Implantatbeschichtungen, um Produktqualität und Haftung sicherzustellen. - Analyse der Solarnetzleitungen – Senkung der Herstellungskosten:
Perfekt zur Messung der Maße leitfähiger silberner Gitterlinien auf Solarpanels. Das Step-Instrument sorgt dafür, dass der Silberverbrauch für eine bessere Leitfähigkeit optimiert wird, was zu Kosteneinsparungen bei der Produktion von Solarmodulen beiträgt. - Mikrofluidik-Technologie – Erkennung von Design und Leistung:
Verwendet in MEMS- und Mikrofluidik-Technologie für Qualifikationstests. Die kraftarme NLite-Messfunktion ermöglicht eine präzise Erkennung vertikaler Schritte und Rauheit auf lichtempfindlichen Materialien und gewährleistet so die Konstruktionsgenauigkeit und Leistung.
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